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发布时间：2016年12月20日 来源：
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12月19日，沈阳拓荆科技有限公司的科技人员正在检验自主研发的新型半导体薄膜设备。作为我省集成电路装备企业的代表，拓荆公司近年来硕果累累，已成功研制了12英寸PECVD、ALD、3D NAND三个系列产品，申请了300余项专利，填补了多项国内空白，使我国半导体薄膜设备水平跻身于世界先进国家之列。近几年来，拓荆的产值均以80%-100%的年成长率迅猛增长，已挺进国际市场。 □本报记者/万 重 摄
