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发布时间：2020年04月22日 来源：信息技术发展与产业化处
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日前，由沈阳富创精密设备有限公司自主研发的国内首件300mm物理气相沉积（PVD）设备大型传输平台，通过北京北方华创微电子装备有限公司上机验证，现已在北京燕东微电子科技有限公司进入产业化应用。
该项产品是集成电路制造核心工艺装备——物理气相沉积设备中的关键零部件，其核心制程超精密机械加工、特种表面处理、超洁净度等方面均已达到国际先进水平。该项产品的成功交付，标志着已经打破国外长期封锁实现完全替代进口，对提升我国集成电路装备关键零部件国产化能力具有深远意义。
